扒一扒激光干涉儀造成測量誤差的原因
點(diǎn)擊次數(shù)：1107 更新時(shí)間：2021-12-22
激光干涉儀，利用激光作為長度基準(zhǔn)，對數(shù)控設(shè)備（加工中心、三座標(biāo)測量機(jī)等）的位置精度（定位精度、重復(fù)定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進(jìn)行精密測量的精密測量儀器。
干涉儀集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間，但是我們在使用中往往會出現(xiàn)檢測偏離值，偏離我們的預(yù)估，以至于在高精度檢測時(shí)，對設(shè)備產(chǎn)生懷疑。下面，小編就激光干涉儀測量誤差的部分原因進(jìn)行簡單的介紹，希望能幫助大家！
1、阿貝誤差
因測量光學(xué)鏡組的安裝高度不在被測設(shè)備的運(yùn)動軸上引起的測量誤差稱之為阿貝誤差。產(chǎn)生的原因是設(shè)備移動時(shí)存在俯仰、扭擺差。因此，光學(xué)鏡組與運(yùn)動軸偏置距離越遠(yuǎn)，引起的阿貝誤差越大。
2、環(huán)境因素
環(huán)境補(bǔ)償單元能準(zhǔn)確采集空氣溫度、壓力、相對濕度信息，基于Edlen公式計(jì)算空氣折射率，以此對激光波長進(jìn)行補(bǔ)償。1000mm示值因環(huán)境溫度、壓力、空氣濕度各自變化引起的示值變化量（單位：um）
3、余弦誤差
激光束路徑與被測軸之間存在的任何未準(zhǔn)直都會造成測得的距離和實(shí)際的運(yùn)動距離之間有差異，此誤差被稱為余弦誤差。當(dāng)激光干涉儀與運(yùn)動軸未準(zhǔn)直時(shí)，余弦誤差會使得測量的距離比實(shí)際距離要短。隨著未準(zhǔn)直角度的增加，誤差也跟著顯著增加。
4、死程誤差
死程誤差是在線性測量過程中與環(huán)境因素改變有關(guān)的誤差，在正常狀況下，死程誤差并不大，而且只會發(fā)生在定標(biāo)后以及測量過程中的環(huán)境改變。
